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자기흡인력을 최소화한 초대형 XY스테이지용 고추력/초정밀 리니어모터 개발

  • 작성자 사진: EECL
    EECL
  • 2021년 7월 1일
  • 1분 분량

  • 지원기관 : 차세대 디스플레이 공정장비소재 전문인력양성사업단 / 코베리

  • 연구기간 : 2021.07. ~ 2021.12.

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