자기흡인력을 최소화한 초대형 XY스테이지용 고추력/초정밀 리니어모터 개발

• 지원기관 : 차세대 디스플레이 공정장비소재 전문인력양성사업단 / 코베리

• 연구기간 : 2021.07. ~ 2021.12.